设备名称：X射线显微镜

设备型号：Xradia 620 Versa

厂 家：ZEISS

设备编号：24031787

设备分类：测试

设备功能简介：

利用X射线投影图进行三维重构，对大尺寸样品进行高分辨率无损伤三维成像。

设备参数：

1.空间分辨率：最佳三维空间分辨率≤0.5μm；

2.系统采用几何+光学两级放大的架构；配备0.4×，4×，20×和40×物镜探测器；

3.2000张1k×1k投影重构图像数据（重构972张Slice图像）时间2.1分钟；

4.设备支持宽视场模式的物镜探测器，在宽场模式的基础上同时还具备垂直拼接功能，支持宽场扫描和垂直拼接同时操作；

5.可放置最大12英寸样品。

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

陈雅璐:13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn