设备名称：台阶仪

设备型号：Dektak-XTL

厂 家：Bruker

设备编号：A24000004

设备分类：测试

设备功能简介：

台阶仪主要用于薄膜厚度测量和材料表面沟槽以及材料形貌表征，具有安全可靠，易于操作，仪器稳定性好等特点。在半导体薄膜、高分子薄膜、金属薄膜、半导体器件、刻蚀等领域中有广泛的应用。

设备参数：

1.垂直范围：垂直方向扫描范围≤1000um；

2.台阶高度重复性：测量高度重复性优于0.5nm（1um的标准台阶）；

3.垂直分辨率：测试垂直分辨率0.1nm；

4.XY自动载物台，最大XY行程300mm*300mm；

5.光学系统：彩色CCD镜头，放大倍率180x；

6.探针压力：可控最小探针压力0.03mg。

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

苏鑫:18511794134,sux@mail.tsinghua.edu.cn