设备名称：台式扫描电镜

设备型号：Phenom XL

厂 家：飞纳科学仪器有限公司

设备编号：25006622

设备分类：测试

设备功能简介：

台式扫描电镜，光学定位，伪3D彩图，拼图

设备参数：

1.图像放大倍率：≤×50k(底片放大倍数)，最高分辨率7nm；

2.真空模式：0.1Pa，60Pa

3.加速电压：2.5kV-20kV可调；

4.图像模式： 二次电子像、背散射电子像

5.样品台移动范围：X 100mm，Y 100mm

6.样品最大尺寸要求：直径100mm，高40mm；

7.换样时间30s

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

陈雅璐：13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn