设备名称：薄膜电阻测量仪

设备型号：CDE 463 ResMap

厂 家：Creative Design Engineerubg，Inc.

设备编号：A21000093

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

适用于各种基底材料薄膜的电阻率测量，具有测量范围广、精度高、稳定性好、数据易导出等特点。

设备性能指标：

1、检测范围：1mΩ/☐ 至 10MΩ/☐；

2、精确度：0.5%；

3、可重复性：静态0.1%，动态0.2%；

4、有2D、3D Mapping的数据分析功能。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

魏治乾：19801221361，zhiqianwei@tsinghua.edu.cn

备注：

禁止测试含金、银、铜的物质。

表面须为平整的导电薄膜、半导体材料。

样品最小尺寸20mm×20mm，8英寸样品可自动测量，最大可测12英寸样品。

可自主上机测试或者送样测试。