设备名称：拉曼光谱测试仪

设备型号：HR Evolution

厂 家：HORIBA

设备编号：A22000037

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

拉曼光谱测试仪利用拉曼效应，基于光和材料相互作用产生光谱，是一种无损的测量技术。一张拉曼光谱是由一系列的峰组成的，每个峰代表了相应的拉曼散射光波长位置与强度。通过分析测得的光谱的峰位置、峰位移、峰强及半高宽等信息，可以用于化学结构鉴别、材料应力的改变、物质结晶度、缺陷等信息。

设备性能指标：

1、光谱仪焦长800mm；

2、激光器：532nm单纵模固体激光器，TEM₀₀模式，功率≥100mW；325nm HeCd激光器，TEM₀₀模式，功率不低于25mW；

3、PL光谱范围：325nm激发330-700nm；

4、光谱分辨率：小于1cm^-1（532nm激光器）；

5、光谱重复性：±0.1cm^-1；

6、灵敏度：单晶硅第三阶拉曼信号信噪比高于20:1，并能观察到四阶峰；

7、内置光栅：600gr/mm,1800gr/mm；

8、XYZ高精度自动平台：X=100mm,Y=100mm,Z=20mm，最小步长50nm。

设备物理位置：

微纳加工中心111实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用。

工程师联系方式：

苏鑫：010-62784044转220，sux@mail.tsinghua.edu.cn