设备名称：氦氖镓三束微纳离子显微镜

设备型号：Orion NanoFab

厂 家：Zeiss

设备编号：A21000026

设备分类：表征与分析，刻蚀

设备功能简介：

离子显微镜通过汇聚并控制离子束对样品表面进行扫描，进而实现微纳米尺度的高分辨率成像和精密加工。Orion NanoFab三束微纳离子显微镜配置了氦、氖、镓三种离子束，可以实现从微米到纳米尺度的加工与表征。系统配置了电荷中和装置，对于不导电样品，可以不喷金直接观测。系统还配置了气体注入模块，可以使用离子束诱导沉积铂、钨、氧化硅材料。氦氖镓三束微纳离子显微镜束斑尺寸小、景深大，可广泛应用于集成电路、材料科学、生命科学等科研领域。

设备性能指标：

1、氦离子束成像分辨率（30kV）优于0.5nm，加工分辨率优于10nm；

2、氖离子束成像分辨率（25kV）优于1.0nm，加工分辨率优于30nm；

3、镓离子束成像分辨率（30kV）优于2.0nm，加工分辨率优于100nm。

设备物理位置：

微纳加工中心南区108实验室

设备预约方法：

在清华大学仪器共享服务平台进行在线预约使用（用户需经过培训并由主管工程师进行授权）。

工程师联系方式：

尹长青：62784044-213，hkycq@mail.tsinghua.edu.cn

原剑：62784044-208，imeyj@mail.tsinghua.edu.cn