设备名称：台式扫描电子显微镜

设备型号：JCM-7000

厂 家：JEOL

设备编号：20023020

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

表面形貌及元素分析。

设备性能指标：

1、图像放大倍率：×10～×100,000，最高分辨率15nm；

2、真空模式：高真空不高于10-3Pa，低真空不高于20Pa，减轻电荷模式不高于80Pa；

3、加速电压：5kV，10 kV，15 kV；

4、图像模式：二次电子像、背散射电子像（成分、相貌、阴影像）、伪3D图像；

5、样品台移动范围：

X：0 ～ 40 mm；Y：0 ～ 40 mm；T： -10 ～ 45°，R：360°；

6、样品最大尺寸要求：直径100mm，高50mm；

7、抽真空时间：～3min；放真空时间：～30s。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn