设备名称：扫描微波阻抗显微镜（sMIM）

设备型号：ScanWave Pro

厂 家：PRIMENANO

设备编号：20009958

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

sMIM根据近场微波原理，可以在纳米尺度下对样品直接测量局域的导电性质和介电性质，具有超高的电学分辨率和空间分辨率。此外，sMIM还可以测试多种材料包括半导体、金属、绝缘体和介质材料，应用十分广泛。样品测试时，无需制备电极或者表面镀膜就可以测试电学性质。在有标定样品的情况下，sMIM还可以测量介电常数和载流子浓度的绝对值。扫描微波阻抗显微镜的主要功能包括微小电容的表征测量、可定量测量微小电容结构的电容值、直接测量材料局域的导电率和介电常数、测量半导体材料的掺杂浓度和类型、可实现局域纳米尺度下C-V曲线的表征、实现材料表面和表面以下性质的测量。

设备性能指标：

1、实现微小电容的表征测量（1×10^-18 F）；

2、可定量测量微小电容结构的电容值（1×10^-18 F 到1×10^-14 F）；

3、直接测量材料局域的电学性质（导电率和介电常数）；

4、测量半导体材料的的掺杂浓度（10¹⁴ atom/cm³ - 10²⁰ atom/cm³）和类型（n/p型）；

5、可实现局域纳米尺度下C-V曲线的表征；

6、实现材料表面和表面以下性质的测量（可达300 nm以下，和样品相关）；

7、极高的空间分辨率（小于50 nm，和样品相关）；

8、极高的电学分辨率（小于1×10^-18 F）；

9、无需电极，样品制备简单。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享平台服务平台上预约该设备。

主管工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn