设备名称：热场发射扫描电镜

设备型号：Quanta FEG 450

厂 家：FEI Company

设备编号：15008701

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

表面形貌及元素分析。

设备性能指标：

1、场发射扫描电镜具有超高分辨率（1nm/30kV，3 nm/3kV）；

2、能对多种样品进行照相，并获得倍率高于100000倍的高清晰数字图像（有效放大倍数：40X～300000X），可观测导电、不导电、含水样品；

3、样品室抽真空时间较短（小于150秒）；加速电压范围：200V～30KV；

4、样品台移动范围较大：X/Y : 100 mm，Z : 60 mm，R：360度连续旋转，T：- 5～+70度倾斜；

5、样品台尺寸较大：直径65mm（最大可放置直径150mm圆片，样品最高40mm）。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn