设备名称：高分辨场发射扫描电镜

设备型号：GeminiSEM 300

厂 家：ZEISS

设备编号：20009957

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

表面形貌及元素分析。

设备性能指标：

1、配备高分辨二次电子探头（Inlen SE）、二次电子探测器（ETSE）、背散射探头，以及能谱仪和导航定位。

2、分辨率：0.7nm/15kV（二次电子），1.2nm/1kV（二次电子）。

3、放大倍数12～2000000倍。

4、加速电压和着陆电压可调范围：0.02～30kV，10V步进。

5、工作距离：0.1mm～50mm，连续可调。

6、样品台最大移动行程：X/Y=130mm，Z=50mm，T=-4°～70°，R=360°。

7、样品仓尺寸：内部直径330mm，高度270mm，最大样品尺寸200mm。

8、真空度：电子枪优于10^-7Pa，样品仓优于10^-4Pa。

设备物理位置：

微纳加工中心南区108实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

主管工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn