设备名称：电子背散射衍射（EBSD）

设备型号：Velocity™ Plus

厂 家：EDAX

设备编号：A21000029

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

表面晶型及晶面取向分析。

设备性能指标：

1、可以与能谱连用，实现同晶型不同物质的区分。

2、采用CMOS相机，扫描和指标化速度优于3000点/秒；像素分辨率优于640×480。在最高采集速度时，像素分辨率优于120×120。

3、配备EBSD数据库系统，包含不小于480个相结构的电子衍射专用数据库。

4、EBSD指标化能力：对所有7个晶系的晶体材料进行自动标定化。EBSD扫描方式有四方和六方步进两种方式可供选择。

5、EBSD标定算法采用三条带组指标化算法，并提供标定结果可信度评价因子，判断衡量相对于所有解的可能中该取向（解）的置信度。

6、EBSD数据分析软件能自动数据采集且应包含数据处理功能（面分布、图表分布、绘图等）；取向差/应变（KAM、GOS、GAM、LOS图）分析功能，能采用可见变色表征不同取向差角、CSL等；能采用不同模型和参数进行取向/晶界的织构计算，并可进行交互分析和表征；材料的弹性刚量、泰勒因子、施密特因子和位错密度GND等计算功能；能采用不同参数或参数的组合来选择数据并分区。

7、EBSD分析具有数据的重新标定模块，可以对采集数据进行重新的标定，背底扣除，系统重新校正，参数及相的重新选择处理。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

主管工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn