设备名称：X射线光电子能谱分析仪

设备型号：AXIS Supra＋

厂 家：岛津

设备编号：A21000033

设备分类：表征与分析

设备功能简介：

表面元素及其化学态分析，表面清洁/刻蚀，价带谱分析。

设备性能指标：

1、配备Al/Ag双靶；

2、最大束斑300*700μm，最小束斑15μm；

3、Al靶最佳能量分辨和灵敏度（Ag 3d5/2的半高全宽和计数率）：0.45eV@160kcps；

4、Ag靶最佳能量分辨和灵敏度（Ag 3d5/2的半高全宽和计数率）：0.9eV@6kcps；

5、配备荷电中和器；

6、可进行平行成像，最佳分辨率1微米；

7、配备氩离子刻蚀枪；

8、配备紫外光电子能谱；

9、可放置最大样品：75*32mm，h不高于19mm。

设备物理位置：

微纳加工中心南区103实验室

设备预约方法：

未通过设备培训考核的用户请与工程师联系，预约使用；通过设备培训考核的用户可以在清华大学仪器共享服务平台上预约该设备。

主管工程师联系方式：

陈雅璐：62784044转216，chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn