设备名称：飞秒激光三维直写系统

设备型号： Photonic Professional GT2

厂 家：德国NANOSCIBE

设备编号：25032328

设备分类：光刻

设备功能简介：

主要用于光学元件的加工，兼顾其他各项微纳米3D打印需求。具备压电台位移加工和振镜扫描加工两种打印模式；具备壳层快打、倾斜拼接和浸入式加工能力

设备性能指标：

高脉冲重复率和高稳定性的脉冲光纤激光系统，激光输出中心波长780nm±10nm，脉宽≤150fs，重复频率80MHz±1MHz，平均输出功率＞120mW

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

尹长青：62784044-213，hkycq@tsinghua.edu.cn