设备名称：高频半自动探针台

设备型号：Summit 12000B-M

厂 家：Cascade Microtech

设备编号：19000171

设备分类：毫米波芯片测试

设备功能简介：

连接晶圆与仪表，配合高频性能测试。

设备性能指标：

1、8英寸探针台，移动范围达200mm*200mm或以上；

2、宽大的测试空间，能对裸芯片、封装后的芯片及器件进行测试；

3、探针台系统具备ATT压缩空气循环制冷的高低温环境，可实现-60°C至300°C的温度变化；均匀性为+/-0.1°C；

4、在X-Y方向：1μm 分辨率、小于2μm 重复精度、大于50mm/sec的移动速度；

  在Z方向：5mm 的移动范围、1μm 分辨率、小于1μm重复精度；

5、可以实现通过软件对晶片载台X, Y, Z, Theta 四个方向的移动全程控制；

6、数码电子显微镜，内置双CCD, 能自动聚焦并进行Z 轴探高，放大倍率 50 倍到1000 倍连续可变；

7、探针座采用Kelvin结构；

8、定位方式及精度：手动；X、Y、Z轴定位精度2μm；

9、载物台可被拉出工作台超过98%，便于放置被测件；平坦度误差优于35μm；两个附加小载物台的平坦度优于 8μm；

10、结合高频测试仪表及高频探针、波导管等可以实现到220G的高频测试。

设备物理位置：

荷清大厦高精尖中心实验室

设备预约方法：

随到随用，清华大学仪器共享服务平台预约优先使用。

工程师联系方式：

曹天天：62799552-1168，caotiantian@mail.tsinghua.edu.cn

高旭：62799552-1168，xugao@tsinghua.edu.cn