设备名称：直流半自动探针台

设备型号：Summit 12000B-M

厂 家：Cascade Microtech

设备编号：19000811

设备分类：存储器测试系统

设备功能简介：

连接晶圆与仪表，配合直流性能测试。

设备性能指标：

1、载物台最大可放置8寸的Wafer；

2、载物台X-Y方向移动的分辨率为1um；

3、探针台系统漏电流600fA以内，载物台寄生电容75fF以内；

4、探针台系统具备压缩空气循环制冷的高低温环境，可实现-60°C至300°C的温度变化，均匀性为+/-0.1°C；

5、可以通过测试软件对晶片载台X, Y, Z, Theta 四个方向的移动全程控制；

6、使用的CCD可以50～1000倍连续变焦；

7、设备控制软件可以提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿，远程控制等自动化功能。

设备物理位置：

荷清大厦高精尖中心实验室

设备预约方法：

随到随用，清华大学仪器共享服务平台预约优先使用。

工程师联系方式：

曹天天：62799552-1168，caotiantian@mail.tsinghua.edu.cn

高旭：62799552-1168，xugao@tsinghua.edu.cn