2023年2月25日下午，在清华大学FIT楼二楼多功能厅，清华大学微纳加工中心隆重举办了2022年度用户大会暨“纳米世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼，来自清华大学、北京大学、中科院、蔡司等多家校内外企事业单位的70余人参会。

中心2022年度工作报告

下午13:30，大会正式开幕。清华大学材料学院教授宋成主持会议。本届大会的主题为《齐“芯”协力》，微纳加工中心副主任伍晓明作中心2022年度工作汇报，向大家分别介绍了微纳加工中心在开放服务、实验室建设、支撑教学、组织活动、宣传与交流、项目及获奖等方面的情况，并对2023年中心工作提出展望。

2022年，微纳加工中心在加工测试领域开放服务总机时达93294小时（包含高精尖中心测试实验室服务机时），服务用户746人；在电子设计与仿真领域开放服务总机时达94.79万人时，服务用户1226人。

微纳加工中心校内用户占69%，校外用户占31%。校内用户分布在清华大学27个院系，2022年新增了校外24家企事业单位用户。

在教学领域，中心支撑了集成电路学院（30门）、自动化系（3门）、精密仪器系（1门）、材料学院（1门）、计算机系（1门）等36门本科生、研究生教学课程的开展。

此外，中心以线上线下结合的方式规范组织技术培训，本年度举办线上培训48场，培训780余人次；举办线下培训考核1464次，培训2600余人次。

2022年，中心全面加强能力体系建设，全力建设一流的专业人才队伍，对部分软硬件设备进行了更新升级，组织承办了第四届“纳米世界”微观形貌表征大赛，并对微纳加工中心网站进行了全新设计和改版升级。

在以2英寸真空互联系统为前沿研究平台，以4英寸、6英寸全共享工艺支持共性微纳加工研究及教学的对外服务能力的基础上，微纳加工中心开发8英寸工艺研究能力，现有8英寸相关专用设备20余台套，涵盖光刻、刻蚀、镀膜、清洗等工艺步骤，为重点项目及重大任务科研攻关提供强力支撑。在清华大学第三十五届大型仪器设备使用效益奖评选中，微纳加工中心获大型仪器设备使用效益奖7项（其中二等奖3项，三等奖4项）。

邀请报告

本届大会特别邀请了北京大学张大成教授、中科院微电子所高建峰副研究员、清华大学田禾副教授作为用户代表作邀请报告，带来微纳加工领域的宝贵技术交流和分享。

北京大学|张大成《不同想象的制造方法—微纳工艺技术》

中科院|高建峰《非制冷红外传感器芯片集成技术研究进展》

清华大学|田禾《基于二维材料的感知-存储-计算器件》

茶歇观展

中场茶歇期间，在微纳加工中心2022年度用户成果海报展示区，参会人员进行了自由观展。

茶歇观展

“纳米世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼

茶歇过后，会议进入了第四届“纳米世界”微观形貌表征大赛颁奖典礼环节。本届大赛由清华大学实验室管理处主办，清华大学微纳加工中心、北京大学微电子工艺实验室、中科院微电子研究所先导中心联合承办，卡尔蔡司公司提供赞助。大赛分为技术组和艺术组分别进行评比。本届大赛投稿作品来自三个院校23个院系，共94幅作品，创历史新高。会上，清华大学集成电路学院副教授唐建石介绍了“纳米世界”大赛的总体情况。大会嘉宾为获奖者现场颁奖。

技术组一二三等奖获得者合影

艺术组一二三等奖获得者合影

在“纳米世界”大赛颁奖环节，清华大学致理书院杨粤轩、中科院集成电路先导工艺研发中心李俊杰作为获奖者代表，作了获奖作品邀请报告。蔡司应用专家杨瑞作了题为《蔡司多样化微纳加工解决方案》的技术报告。蔡司显微镜材料科研解决方案全国销售总监黄铭刚在颁奖典礼上发表致辞。

用户成果海报颁奖

微纳加工中心用户大会暨用户成果海报展示，旨在为用户提供一个在微纳器件和集成电路等方面最新成果的技术交流和展示平台，同时也介绍清华大学微纳加工中心在科研教学、人才培养、学术水平、行业带动等方面的工作情况。本届海报展示共收到21个作品，来源涵盖精仪系、材料学院、集成电路学院、中科院微电子所等院系和单位，从中评选出一等奖1名、二等奖2名、三等奖5名。

用户成果海报一二三等奖获得者合影

实验室开放日参观活动

下午17:00，清华大学微纳加工中心2022年度用户大会圆满闭幕。中心实验室对外开放参观，与会人员及其它师生、用户在中心工作人员的带领和讲解下现场观摩、交流答疑，近距离了解了微纳加工中心的实验室环境、设备资源及综合能力。

实验室开放日参观

新局重开，新章肇起。回顾2022，微纳加工中心踔厉奋发，笃行不怠，各项服务迈上新台阶；展望2023，挑战与机遇并存，更需齐“芯”协力！积力所举无不胜，众智所为无不成。齐“芯”协力，再谱“芯”章！