5月23日,芬兰Picosun公司CEO Kuataa Poutiainen先生访问清华大学微纳加工平台,双方就如何在微纳加工领域进一步开展教学、培训、科研等相关合作事宜进行了总体规划与探讨。
Picosun公司是世界上生产原子层沉积系统(Atomic Layer Deposition, ALD)的主要公司之一。ALD是一种可以精确控制薄膜厚度的薄膜沉积技术,具有大面积、高阶梯覆盖率、高均匀性、原子级膜厚控制的优点,主要用于纳米半导体器件的制造。