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DISCO设备捐赠仪式圆满举行

2016-03-17    点击:

3月17日上午,DISCO设备捐赠仪式在微电子学研究所举行。日本DISCO会长溝呂木斉先生、清华大学副校长薛其坤及微电子学研究所所长魏少军教授等共同参加了设备捐赠仪式。

DISCO是国际知名的半导体设备供应商,主营半导体精密研削切割设备的制造与销售。2015年,DISCO向微电子学研究所捐赠了一套划片机,用于完善和提升清华大学微纳加工平台的微纳加工能力,促进我校微纳电子学科及相关交叉学科的发展。

该套设备已于2015年9月在清华大学微纳加工平台安装调试成功并投入使用,目前已服务于清华大学精仪系、机械系、材料系、微纳电子系以及清华同方等多家校内外企事业单位。