1月10日，清华大学与Lam Research公司在主楼举办设备捐赠暨合作备忘录签署仪式，校党委书记陈旭、Lam Research总裁兼首席执行官马丁·安斯蒂斯（Martin Anstice）、微纳电子系主任魏少军等共同出席参加。

Lam Research公司向清华大学微纳加工平台捐赠 C2 Al-tus 单晶片化学气相沉积—钨沉积系统一套，主要用于钨膜的化学气相沉积，其中钨膜为晶片上构成大规模和超大规模集成电路上的导电层。

该设备为Lam Research公司向平台捐赠的第二台高端微纳加工设备。2015年Lam Research曾向平台捐赠了一台Rainbow4520系列干法刻蚀机，主要用于氧化硅、氮化硅、多晶硅以及石墨烯材料等其他多种混合半导体材质的刻蚀，具有刻蚀精度高、工艺稳定性好、操作简单、易维护、可靠性高等特性，深受平台用户欢迎。

目前，该设备已在平台超净间安装就绪，即将开放给平台用户预约使用。