在清华大学2018年度实验室建设与管理奖评选中，经业务评议、实验室与设备处处务会讨论，微纳加工平台荣获清华大学2018年度“实验室建设与管理集体奖一等奖”（本次评选设集体奖一等奖5个、二等奖10个）。

近几年，在国家、北京市及学校相关经费支持下，平台陆续引进了大批国际领先的微纳加工测试高端设备，加工测试能力显著增强；具备氧化、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械抛光、光刻、电子束光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、封装与集成、检测与分析等完整工艺流程，支持为用户开发特色工艺，满足广大用户对不同学科方向的加工测试需求；平台实验室每天进出约550人次 ，每周工艺实验和测试实验次数平均300余次；平台鼓励实验教学，支持《微电子工艺实验》、《微纳电子材料器件分析技术》、《CMOS集成电路制造技术》、《集成电路制造与生产管理》等多门教学课程的开展。

为实现便捷高效的规范管理，平台自主开发了门户网站和内部管理软件，不仅方便用户网上预约平台设备、在线学习设备操作和工艺流程，同时对平台设备资源、人员、设备使用计费等实现自动化、信息化管理。

微纳加工平台通过整合校内微纳加工测试资源，搭建高精尖设备条件，建立专业化支撑队伍，形成高效运行模式，致力建设成世界一流的高水平科研、育人、开放共享微纳技术平台。