疫情防控期间,为了实现“停课不停教、停课不停学”的总体目标、保障各项工作和教学科研支撑服务正常运转,微纳加工平台实行灵活办公工作方案,并以国家集成电路产教融合创新平台作为载体,利用腾讯会议等网络平台,积极开展了一系列实验室线上安全培训和设备培训。
微纳加工平台线上培训由平台工程师结合自身多年的实验室加工测试服务经验,以“原理讲解+视频操作演示+在线交流答疑”的方式进行。为克服远程培训无法操作设备的弊端,平台专门成立了视频摄制工作组,统筹负责平台设备培训的视频拍摄和剪辑工作,全面录制培训视频教程,使设备操作培训尽量达到身临其境的效果。
2020年2月至6月期间,微纳加工平台已陆续举办了22期实验室线上培训课程,累计培训1012人次,培训用户涉及校内外40余个课题组和企业单位,培训内容涵盖实验室安全、薄膜、测试、光刻、刻蚀、湿法、封装等微纳加工测试领域。
清华大学微纳加工平台线上培训课程(2月~6月) |
培训场次 |
培训日期 |
培训课程 |
主讲老师 |
培训人数 |
培训领域 |
第1期 |
2020/2/25 |
膜厚测量设备培训 |
陈雅璐 |
50 |
测试 |
第2期 |
2020/2/27 |
微纳加工平台超净实验室的申请与安全使用培训 |
魏治乾 |
37 |
实验室安全 |
第3期 |
2020/3/5 |
激光直写设备培训 |
尹长青 |
85 |
光刻 |
第4期 |
2020/3/10 |
氦氖镓三束离子显微镜及其在微纳加工领域的应用 |
尉东光 |
70 |
测试 |
第5期 |
2020/3/12 |
电子束光刻设备培训 |
韩英 |
113 |
光刻 |
第6期 |
2020/3/19 |
溅射设备培训 |
窦维治 |
61 |
薄膜 |
第7期 |
2020/3/26 |
爱发科干法刻蚀机技术培训 |
李希有 |
46 |
刻蚀 |
第8期 |
2020/4/2 |
徕卡DCM-8共聚焦显微镜介绍 |
苏鑫 |
37 |
测试 |
第9期 |
2020/4/9 |
P7/P17台阶仪基础及进阶功能操作培训 |
魏治乾 |
36 |
测试 |
第10期 |
2020/4/16 |
晶圆切割技术与DISCO DAD3350半自动切割机设备及工艺 |
梁仁荣 |
53 |
封装 |
第11期 |
2020/4/23 |
化学机械抛光原理与设备培训 |
尹长青 |
40 |
封装 |
第12期 |
2020/4/28 |
Calibre工具培训:Calibre DRC/LVS rules writing |
周然 |
28 |
EDA软件 |
第13期 |
2020/4/29 |
MSP-3200T磁控溅射镀膜机培训 |
韩冰 |
40 |
薄膜 |
第14期 |
2020/5/7 |
Bruker Icon原子力显微镜上机操作培训 |
陈雅璐 |
36 |
测试 |
第15期 |
2020/5/14 |
光学曝光工艺及设备操作培训(一) |
付玉霞 |
40 |
光刻 |
第16期 |
2020/5/21 |
湿法间安全与设备培训 |
宗莉 |
34 |
湿法 |
第17期 |
2020/5/28 |
封装区设备操作培训 |
王谦 |
39 |
封装 |
第18期 |
2020/6/2 |
仪器共享平台使用及安全培训 |
杨信培 |
27 |
实验室安全 |
第19期 |
2020/6/4 |
光学曝光工艺及设备操作培训(二) |
付玉霞 |
40 |
光刻 |
第20期 |
2020/6/11 |
封装工艺及封装设备操作培训 |
胡杨 |
38 |
封装 |
第21期 |
2020/6/18 |
PVD75高真空电子束蒸发系统培训 |
韩冰 |
26 |
薄膜 |
第22期 |
2020/6/24 |
原子层沉积系统原理与操作 |
曹秉军 |
36 |
薄膜 |