在清华大学第五届实验室创新基金项目申报工作中，微纳加工中心实验室技术人员积极申报，五个实验室建设与安全技术课题项目（项目执行期均两年）获得清华大学实验室创新基金资助立项。
| 项目名称 |
项目类别 |
项目负责人 |
项目简介 |
| 高介电性溅射氧化铪薄膜制备工艺开发 |
实验室建设（科研辅助） |
魏志乾 |
本项目通过调整制备HfO2薄膜过程的各参数达到调节HfO2薄膜介电性能的目的，拟开发一套使用重掺杂Si为基体、HfO2为介电质的电容制备与测试方法，优化调整电容的制备工艺，全面测试评价HfO2的介电常数。该项目基于国产设备基础上进行再开发，有助于提升国产集成电路设备的工艺水平。 |
| 基于T5830ES的RRAM 1K测试系统开发 |
实验室建设（测试服务） |
王艳平 |
本项目开发一款基于T5830ES的RRAM 1K测试系统，降低T5830ES的使用门槛，简化操作流程，提高测试系统的自动化能力以更适应科研需求，提高设备使用效益和水平，对人才培养和科学研究起到促进作用。 |
| ICP干法刻蚀AlN压电薄膜材料工艺的研发 |
实验室建设（科研辅助） |
李希有 |
本项目将突破传统压电材料在兼容性、集成度方面的诸多瓶颈，首次开发AlN薄膜材料ICP-Cl干法刻蚀工艺，建立一套适合于微纳加工平台的AlN压电薄膜材料准工艺流程，为校内外课题组、研究工作者提供稳定、高质量的AlN压电薄膜结构；按照设计能够制备出适用于超高频的高质量滤波器，对实现5G通信方面射频前端芯片的国产化具有重要意义。 |
| 共享平台实验室安全培训体系建设 |
安全技术 |
包艳琳 |
本项目旨在完善微纳加工中心现有的安全培训体系，改变传统的线下培训模式，采用线上线下结合，拟采用虚拟现实技术及网络资源开发一系列新颖的培训形式如VR、在线考核等，突破培训时间和空间的限制，提高培训的灵活性和效率，提高用户安全意识和操作技能，预防和避免实验室各类事故的发生。 |
| 实验室安全管理制度建设研究与实践 |
安全技术 |
窦维治 |
发挥党支部核心作用，使党建与业务工作相结合，培养又红又专双肩挑队伍，建设“五位一体”实验室安全管理体系，具体包括5个“安全”：安全组织架构、安全管理制度、安全检查体系、安全教育体系、安全应急机 制，称为“5S”实验室安全管理体系，形成实验室安全管理体系建设研究报告。 |
微纳加工中心是集成电路专业人才培养的重要基地。微纳加工中心实验室创新基金项目的开展，能够有效提升中心人员研究探索前沿工艺技术与创新管理技术的能力，增强工艺团队的协作性和解决实际问题的能力，对推动实验室建设、提升教学科研工作服务水平有重要作用。
