美国Lam RESEARCH公司捐赠清华大学微电子所的Rainbow 4520刻蚀机已经到货，并已在实验室内就位，1月26日上午，Lam RESEARCH公司首席运营官蒂姆·阿彻（Tim Archer）一行到微电子所进行访问，并考察 了捐赠设备的情况，清华大学校长助理尤政教授以及微电子所副所长王燕老师和吴华强老师陪同进行了考察。