平台项目获得清华大学实验室创新基金资助 -清华大学微纳加工中心

2013-12-16 点击：

平台曹秉军老师的项目《微电子与微机械相兼容的微加工工艺实验课程研究》，入选第二期清华大学实验室创新基金项目并获得资助。

清华大学实验室创新基金是学校为引导广大实验技术人员、实验室一线教师和实验室管理人员积极研究实验技术、持续推动实验室建设而设立的。本期创新基金项目得到“易事特科研创新基金”的支持。