12月5日下午，美国LAM Research公司向清华大学捐赠半导体工艺设备及奖学金颁奖仪式在微电子所A204会议室举行。LAM Research公司首席运营官蒂姆·阿彻（Tim Archer），我校微纳电子系主任/微电子所所长魏少军、实验室与设备处处长武晓峰等出席仪式。

仪式举行前，副校长姜胜耀与蒂姆·阿彻一行在工字厅进行会谈。姜胜耀代表学校对LAM Research公司为我校捐赠设备和设立奖学金表示感谢，表示双方要进一步拓展合作领域，推动双方合作关系不断深化发展。蒂姆·阿彻介绍了该公司开展半导体设备开发的业绩，希望与清华大学发展长期友好合作关系。

此次Lam Research公司向微电子所捐赠刻蚀设备，将进一步提高微纳电子技术支撑平台的工艺加工水平。同时，Lam Research在我校设立Lam论文奖学金，根据专家评选意见，奖励在论文上有突出成绩的研究生，2013年共奖励17名研究生。

仪式结束后，蒂姆·阿彻一起参观了微纳电子技术支撑平台。Lam公司部分高层管理人员，我校教育基金会、微电子所有关负责人和学生近30人参加仪式。

美国LAM Research是国际最大的半导体设备公司之一，以半导体薄膜的制备、刻蚀和清洗设备而知名，其设备在半导体三维集成技术领域世界领先。

魏少军所长向LAM Research公司首席运营官蒂姆·阿彻（Tim Archer）进行介绍