2013年1月14日，清华大学党委常务副书记陈旭到微电子所进行调研，微电子所所长魏少军老师、党委书记钱鹤老师以及微纳电子技术支撑平台主任吴华强老师陪同调研。

调研结束后，陈旭副书记又参观考察了微纳电子技术支撑平台，对平台的软硬件资源非常满意，并表示了学校对微电子所以及微纳电子技术支撑平台建设的支撑。