各位老师、同学们，经过现场答辩和网上投票，第四届“纳米世界”微观形貌表征大赛获奖名单正式公布！
本届比赛技术组和艺术组分设一等奖1名，二等奖3名，三等奖5名。恭喜获奖选手~
技术组 一等奖
干法原子层刻蚀制备垂直纳米线阵列
李俊杰 | 中科院微电子所 | 先导中心
扫描电镜及透射电镜
环栅（GAA）是3nm以下替代FinFET的主流器件结构，垂直沟道GAA因为源漏不占面积且更有便于垂直集成，在DRAM以及3D-IC中有巨大的应用潜力。本技术采用主流的Si衬底上外延单晶SiGe/Si技术，采用常规光刻图形化技术获得纳米柱，再采用创新的准原子层刻蚀（ALE）技术，精确的将中间的沟道直径控制到小于20nm。
技术组 二等奖
极小尺寸内侧墙（inner spacer）
韩江浩，李俊杰 | 中科院微电子所 | 先导中心
扫描电镜
内侧墙（inner spacer）结构照片。3nm以下节点GAA是取代FinFET的最有竞争力的器件结构，为了减少栅极与源漏间的寄生电容，调控寄生电阻，需要利用假栅（dummy gate）自对准刻蚀去除源漏位置的Si/SiGe叠层，并部分释放SiGe（本技术利用干法选择性刻蚀SiGe）形成空腔，并利用高保型SiN薄膜生长填充SiN，再利用高选择比各向异性刻蚀技术去除空腔外的SiN材料，让纳米片的端头外露，以便后续外延源漏，制备GAA器件。内侧墙的厚度直接决定了有效栅长，也调控器件电性，并且还充当沟道释放时的刻蚀阻挡层，所以该工艺十分关键，且对尺寸控制要求极高，因此工程实现起来极具挑战，被业界列为最具有挑战的工艺模块之一。
16nm芯片中BEOL和FEOL的整体结构STEM图
李恋恋 | 中科院微电子所 | 先导中心
透射电镜
16nm芯片FEOL和BEOL的整体结构STEM图。首先利用FIB-SEM制备出厚度约为40nm的TEM样品，接着利用透射电子显微镜进行器件结构的观察和测量。图1为沿Gate方向器件结构的STEM图，图2为沿Fin方向器件结构的STEM图，包含晶体管结构和M1-M9互连金属线结构。图3展示了沿Gate方向能够清晰观察出器件Fin的结构的形貌以及Fin结构中Si沟道的HRSTEM图，原子间距约为2埃。
干法选择性刻蚀制备纳米片
林鸿霄，余嘉晗 | 中科院微电子所 | 先导中心
透射电镜
本实验室开发目前主流小尺寸环栅（GAA）的器件结构，开发Si衬底上外SiGe/Si材料的选择性刻蚀。该样品为SiO2/SiGe/Si的叠层，经过垂直刻蚀和横向的选择性刻蚀后形成的图形。
技术组 三等奖
纳米像素画及类鸟巢状3D结构
刘少峰 | 清华大学 | 精仪系
侯郑为 | 清华大学 | 材料学院
扫描电镜
整体结构由无数个纳米颗粒组装及打印而成。图1展示了具有超高分辨率的纳米像素画——“马”，该图像整体由几千根非等高的纳米立柱构成，在马的不同部位纳米立柱高度错落有致，展示了高精度纳米加工能力。整体纳米像素画灵动飘逸，视觉冲击感强。图2展示了“类鸟巢状”3D结构，整体极具对称之美，由复杂弯曲线段绕按中心旋转对称排布而成。
双层转角人工自旋冰
赵孟琦 | 清华大学 | 物理系
扫描电镜
双层转角人工自旋冰，上下两层的转角为9.43度，可以看到清晰的莫尔条纹，形成的莫尔超晶格的周期约为单层晶格周期的10.5倍。
SiGe梯度掺杂
刘金彪，高建峰 | 中科院微电子所 | 先导中心
原子力显微镜
GeSi多层外延，梯度掺杂，使用AFM 断面扫描，表征外延材料的掺杂。
Where is the limit?
杨粤轩 | 清华大学 | 致理书院
原子力显微镜
本样品为利用DNA four-arm junction组成的网格状纳米结构，其几何构型为Nanotube（纳米管）。该纳米管整个圆周由16组并联的DNA双螺旋组成，其轴向是4组并联的DNA双螺旋链，具体数量在原子力显微镜下清晰可见。
超光滑光学镜片
陈孝慈 | 清华大学 | 经管学院
白光干涉
超光滑光学镜片的表面测量。图1展示了一个超光滑光学镜片表面粗糙度值Sa 0.01886nm，图2展示了白光成像的形貌点云，图3展示了利用软件渲染后的三维图形，可清晰看出高低起伏状态。
艺术组 一等奖
微米级清华大学二校门
刘天棋 | 清华大学 | 核能与新能源技术研究院
扫描电镜
利用双光子光刻技术对光刻胶进行曝光，在微米级尺度上制造出清华大学二校门模型的3D微结构。
艺术组 二等奖
在纳米世界中构筑水木清华
刘少峰 | 清华大学 | 精仪系
侯郑为 | 清华大学 | 材料学院
扫描电镜
景昃鸣禽集，水木湛清华。基于量子点3D纳米打印技术，图中分别展示了清华校徽、二校门、大礼堂标志性清华元素。
森林之海
孙大鹏 | 中科院微电子所 | 设备中心
扫描电镜
使用PS小球做掩模，加ZnO水热合成得到的纳米森林结构。
叶子
王婷婷 | 北京大学 | 物理学院
光学显微镜
借助定向转移银薄膜的方法实现银碎片从硅/二氧化硅衬底到PDMS柔性衬底的转移的过程中，得到了一片酷似落叶的银碎片。风吹一片叶，万物已惊秋。
艺术组 三等奖
海绵池中的捉迷藏大行动
李鑫 | 清华大学 | 材料学院
扫描电镜
原图是在场发射环境扫描电镜Quanta 200FEG下拍摄的经熔融钕腐蚀150h后(Ta0.9Nb0.1)C固溶体陶瓷的腐蚀层表面形貌。电压为20kV，放大倍数为5000x。图中的正方体/长方体晶粒为单相固溶体晶粒经熔融钕侵蚀后得到的晶粒。由于钕会夺取碳化物中的C，使得晶粒不断向(100)晶面朝外的状态变化，保证能量最低，防止腐蚀进一步发生，从而促成该类腐蚀形貌。本幅作品将原SEM图经过Photoshop着色处理后呈现出海绵池的画面。海绵池是当前孩童最喜欢的玩乐场所，在其中不仅可以与同伴嬉戏打闹，更可以享受童年。同时，海绵池中的各类布置也是增加喜爱度的因素之一。通过将“我的世界”“复仇者联盟”“海绵宝宝”“可爱动物”等大家喜爱的因素引入其中，形成一种神奇生物捉迷藏的氛围，让人不由得想要参与到这场捉迷藏大行动中来。科研是一场孤独而深邃的旅程，如何从中找寻到乐趣并保持乐观是每一位科研人都应努力做到的。快乐科研，寓教于乐，孩童的天真快乐将助力科研平稳前行。
黑洞深处
郭婧 | 清华大学 | 材料学院
光学显微镜
当你凝望深渊时，深渊也在凝望你。科学阐释：以Na2MoO4和Te作为前驱体，用管式炉在蓝宝石基底上CVD生长1T'-MoTe2晶体所得。
阀门
石琰琰 | 清华大学 | 生命学院
激光共聚焦显微镜
这张图片拍摄的是果蝇的食道、胃、以及中肠三通处的阀门结构（类似于哺乳动物的幽门），红色为鬼笔环肽标记的肌肉纤维，蓝色是DAPI染色的细胞核。在阀门的中间层，有一圈致密的肌肉纤维，它同最外围的肌肉纤维一起，协同控制了阀门的开关。其内部结构宛如水母，姿态优美。
纳米世界里的挑山工
石琰琰 | 清华大学 | 生命学院
激光共聚焦显微镜
这张图片拍摄的是果蝇嗉囊导管上的神经纤维，绿色为绿色荧光蛋白标记的神经纤维，红色为鬼笔环肽标记的肌肉纤维。渺小而坚毅的挑担者行走在纳米世界的道路上，步履迅捷，不由得让人想起了泰山上的挑山工，生活不易呀！
七潭印月
余嘉晗，林鸿霄 | 中科院微电子所 | 先导中心
透射电镜
该样品为SiO2/SiGe/Si的叠层，经过垂直刻蚀和横向的选择性刻蚀后形成的图形。形似西湖十大美景之一的“三潭印月”，故取名“七潭印月”。宛若微观世界中的西湖美景。
恭喜以上获奖选手！颁奖仪式将于2023年2月25日（暂定）与微纳加工中心用户大会一同举行，具体会议时间、地点和日程安排另行通知。届时将有精彩报告，欢迎关注！
