1、实验室氧含量侦测系统

① 洁净室中氧含量侦测探头遍布整个实验室，O₂气体侦测报警控制箱有两个，分别在实验室入口风淋室西侧墙上和在光刻间门口南侧墙上）。

② 警示灯是否闪烁（绿灯正常、黄灯和红灯均不正常）。

③ 报警灯处于不正常状态时（非绿灯），第一时间离开并确保自身安全后，报告工作人员。

实验室O₂气体侦测报警控制箱位置示意图

2、实验室H₂泄露侦测系统

① H₂侦测探头安装台整个实验室必要位置，H₂泄漏报警器（实验室4号柱对面柱子东墙）。

② 警示灯是否闪烁（绿灯正常、黄灯和红灯均不正常）。

③ 报警灯处于不正常（非绿灯）状态下，立即停止实验并且离开实验室后，报告工作人员。

实验室H₂气体侦测报警控制箱位置示意图

3、实验室特气泄露侦测系统

① 特气侦测探头安装台整个实验室必要位置。SiH₂Cl₂、Cl₂、BCl₃泄露报警器位于实验室4号柱东墙；HBr、HCl、SiH₄、GeH₄泄漏报警器位于实验室5号柱东墙。

② 警示灯是否闪烁（绿灯正常、黄灯和红灯均不正常）。

③ 报警灯处于不正常（非绿灯）状态下，立即停止实验并且离开实验室后，报告工作人员。

实验室特气体侦测报警控制箱位置示意图