1、使用高温设备时，注意由于温度过高造成的烫伤。检查设备周边是否有易燃易爆的物品如纸张、试剂等。检查冷却水系统是否运转正常，定期打开管道防水检查管路是否通畅。

2、设备一定要降至设备规定温度才可将设备打开，不可在高温状态下打开设备以免造成危险。进出石英舟一定要缓慢进出，以免造成石英制品和样品的损坏。装取片时要注意手套衣物等不要与石英制品接触，避免沾污。

3、工艺运行时定期检查工艺温度是否正常，将独立的超温保护设定合适的值并定期进行检查。