1、超净实验室越干净越好,实验室是所有用户共同使用的实验室,每个用户都有责任保护好这一公共的环境:
① 你的东西掉在地上,请拣起来;
② 你洒了什么东西,请擦干净;
③ 请勿随意遗弃破损的器皿或遗留下的空的化学品瓶子。若发现此类被遗弃的瓶子或者器皿,请通知该区工程师。
④ 如果看到某人违反了实验室规定,请提醒他,或者告知试验室工作人员。在洁净实验室中,实验室成员的名字和账号都写在他的胸卡上,很容易分辨。
2、在等待工艺设备完成某一步流程时,例如腔体抽真空或者放真空,做一些有益于洁净实验室的事情:如清洁设备或者工作台面、拣起废弃物。
① 操作台面上或者地上有废纸、滤纸时,捡起来扔进垃圾桶;
② 将用过的玻片、碎硅片收集并扔进垃圾桶;
③ 擦干净工作过的湿法工作台;
④ 擦拭计算机屏幕。
3、时常检查一下你的洁净服,如果有破损的地方,为避免自己衣服和皮肤上的灰尘会通过破损的地方进入洁净实验室和洁净操作面,需要及时找平台办公室更换。洁净服要穿戴整齐。
4、在超净实验室里,用户必须自始至终戴实验室提供的橡胶手套。这些手套处于更衣间的干净区。这种手套保护实验室的洁净操作面不受人手上的油脂和盐分的污染。注意,不要戴着手套碰触脸。需要的时候要及时更换手套。
5、洁净实验室还有干净的聚乙烯手套(透明一次性塑料手套),根据需要,这些手套分布在实验室的不同位置,尤其是有源区。它们用来控制污染。在处理易污染材料时,必须将其自始至终戴在橡胶手套的外面。例如,操作高温炉的石英舟、往溅射台中放置硅片时等。
6、超净间的门要保持常闭。门敞开时,气流可能会将外面脏区的污染物带入洁净室。要缓慢地开、关门,快速地开关会激起脏区的灰尘进入洁净区。
7、非必要情况请勿在超净间快走、奔跑、裸露皮肤等。