为确保微纳加工中心对光刻间存放的所有化学品（包括平台购置公用、用户自购及配置）实施安全有效地管控，便于安全隐患排查，微纳加工中心依学院要求制定以下规定，望所有用户严格遵守。

一、提出申请、填写信息并粘贴专用化学品标签

1、用户首先联系光刻间相关负责老师，电子束曝光相关化学品联系韩英老师，其余联系付玉霞老师。

2、将化学品相关信息按照以下说明填写电子版《实验室化学品台账》：

（1）【编号】编号规则为：SIC-实验室编号（2 位阿拉伯数字--微纳加工中心超净间为08、南平103为05、南平湿法间为14、光刻间16）-年份日期（6 位阿拉伯数字）-当日试剂编号（3 位阿拉伯数字）-包装编号（1 至 2 位阿拉伯数字，可选）。

编号参考范例：SIC-16-211101-001-1（此编号即表示：该化学品放置在微纳加工中心光刻间，进入实验室的时间为2021年11月1日，当日该化学品试剂编号为001，包装编号为1）

（2）【名称】应按供应商提供的品名或标签填写完整规范的中文名称；

（3）【形态】可选项：气体、固体、液体、其他；

（4）【管制类型】可选项：一般、易制毒、易制爆、民用爆炸品、麻醉药品、精神药品；

（5）【生产厂家】应填写完整的名称（尽量填写中文名，自行配置的写“自配”）；

（6）【负责人】该化学品的负责人，必须是在职教职工或在读学生，负责人在离校交接时必须及时指定新的负责人，并更新台账及标签；

（7）【电话】该化学品负责人的手机或者固定电话号码；

（8）【来源】可选项：试剂系统统一采购，其它渠道采购/取得（具体说明），分装，自行配置；

（9）【日期】购买/取得化学品的，以进入实验室的日期或分装、配置的日期为准；

（10）【存放位置】实验室内储存该化学品的位置（例如冰箱、排风橱柜）；

（11）【包装标称容量】原始包装上每瓶、每桶、每支药品的标称含量；

（12）【购入包装数量】购买该化学品的原始包装数量（有几个单独包装），如该数量>1，实际包装上所张贴的台账编号应包含包装编号；

（13）【现有包装数量】实验室内该化学品的现有包装数量（以自查/核查当日存量为准）；

（14）【现有总量】实验室内该化学品的现有总量（以自查/核查当日存量为准）；

（15）【使用状态】可选项：使用中、待报废、已耗尽、已清理，选择“已耗尽”或“已清理”的化学品不得从台账中删除；

3、将填好的《实验室化学品台账》以及化学品MSDS一同发送到相关负责老师的邮箱里，电子束曝光相关化学品发给韩英老师hanying@mail.tsinghua.edu.cn；其余发给付玉霞老师(fuyuxia@mail.tsinghua.edu.cn)。经审查合格后，由微纳加工中心工作人员统一汇总后上报学院。

4、学院确认后会统一打印专用化学品标签，标签下发到微纳加工中心后，中心会再安排时间组织相关用户将化学品标签按学院要求进行粘贴。

二、将已经粘贴好标签的化学品按存储条件存放在光刻间专用冰箱或化学品柜内。

三、微纳加工中心定期发通知给用户进行盘点，有过期、剩余量变化、转交其他负责人等信息变动的需如实填写电子版《实验室化学品台账》，之后发邮箱给光刻间负责老师进行汇总。

四、光刻间相关负责老师会定期对化学品进行检查，对没有粘贴合格的化学品标签、有效期已过、存放地点不合格等不符合要求的化学品按照《微纳加工中心化学品管理规定》作为废弃化学品进行清理，废弃化学品不得长时间存放在光刻间。

※五、特别强调：所有化学品必须完成粘贴专用化学品标签以后才允许进入光刻间！不允许先进入后补相关程序！

清华大学微纳加工中心

2022/3/17