1、2.5微米线宽 75微米深的硅槽刻蚀工艺案例

设备名称：硅深刻蚀系统

设备型号：SPTS Omega LPX Rapier

2.5微米线宽 75微米深的硅槽刻蚀形貌图

2、直径5微米 50微米深小孔的刻蚀工艺案例

设备名称：硅深刻蚀系统

设备型号：SPTS Omega LPX Rapier

直径5微米 50微米深小孔的刻蚀形貌图

3、50微米图形尺寸 400微米深快速深硅刻蚀工艺案例

设备名称：硅深刻蚀系统

设备型号：SPTS Omega LPX Rapier

50微米图形尺寸 400微米深快速深硅刻蚀形貌图