清华大学微纳加工中心现有设备在调试完成后均对外开放使用，用户可在清华大学大型仪器共享服务平台（http://yqgx.tsinghua.edu.cn/）查阅设备相关信息并在线预约使用。

本实验室设备使用以用户自主上机为主、委托实验为辅，鼓励用户在通过培训后独立进行加工和测试。首次使用本实验室设备的用户请先与设备工程师联系，确认设备状态、样品要求等。

1、自主上机

（1）按实验室开放管理规定，成为实验室用户。

（2）联系设备工程师，进行设备培训，并通过相关考核，获得自主上机操作权限，并填写完成微纳加工中心设备培训与考核记录单。

（3）在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”，找到对应的仪器后点击“上机预约”，预约机时，并在预约的时间完成实验。

2、委托实验

（1）请与设备工程师联系，确认送样要求及期望完成时间。

（2）在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”，找到对应的仪器后点击“委托实验”，认真阅读“样品说明”，确认无误后，填写委托实验内容并提交。

因实验室设备繁多，个别设备的预约方法略有差异，请以清华大学微纳加工中心网站（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn）【开放服务】菜单下各设备介绍中公布的预约方式为准。