设备名称：真空互联-扫描俄歇显微镜系统

设备型号：NanoSAM system

厂 家：Scienta Omicron GmbH

设备编号：21029115

设备分类：表征与分析，真空互联，前沿基础研究服务

设备功能简介：

主要用于材料成分和均匀性的分析、材料性能与微观形貌两者关系的研究、微纳器件、微纳结构的高精度测试分析及失效分析等。

设备性能指标：

1、扫描俄歇显微镜分辨率6 nm@10 kV/1 nA；

2、扫描俄歇样品台可将样品加热至750 K；

3、本底真空度优于3x10^-10 Torr；

4、扫描电镜分辨率3 nm；

5、信号强度优于70 Mcps 。

设备物理位置：

微纳加工中心南区108实验室

设备预约方法：

1、由项目组负责人填写并提交申请书，实验操作者提交实验申请表。

说明：真空互联设备使用申请书和实验申请表请在清华大学微纳加工中心-表格下载中下载，填写后交给主管工程师。

2、“送样测试”或“委托加工”的，请联系主管工程师。

3、进入实验室实操设备的：

3.1 按实验室开放管理规定，成为实验室用户。

3.2 联系主管工程师，进行设备培训，并通过相关考核。填写完成微纳加工中心设备培训与考核记录单。

3.3 在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”进行搜索,找到对应的仪器后进行“上机预约”。

工程师联系方式：

高兆艳：13051135063，zygao@mail.tsinghua.edu.cn