设备名称： MOS清洗机

设备型号： CGB-WB200-24064A

厂 家：北京华林嘉业科技有限公司

设备编号：25027850

设备分类：清洗

设备功能简介：

8英寸晶圆MOS清洗

设备参数：

8英寸晶圆MOS清洗

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

宗莉：13693600842，zongli@tsinghua.edu.cn