设备名称： 临界点干燥仪

设备型号： AUTOMEGASAMDRI-938

厂 家：Tousimis

设备编号：25027404

设备分类：湿法

设备功能简介：

临界点干燥仪利用二氧化碳在超临界状态下表面张力为零的特点，进行临界点干燥的设备，有助于保持生物组织、生物膜、凝胶、MEMS和石墨烯等样品结构功能的完整性。

设备性能指标：

1.支持晶圆尺寸：8英寸及以下

2.支持自定义程序全自动或手动处理程序，Stasis软件可实现全流程精确控制

设备位置：

微纳加工中心主超净间 自强科技楼5101实验室

设备预约方法：

通过清华大学大型仪器共享服务平台在线预约使用

工程师联系方式：

宗莉：13693600842，hkycq@tsinghua.edu.cn