近日，微纳加工中心新增一台台阶仪（厂家：Bruker 型号：Dektak-XTL），该设备通过线性差动变压器来探测探针在垂直方向的运动，将得到的电子信号经过模数转换以数字形式显示为样品的表面轮廓，用于对半导体、高分子、金属等薄膜厚度测量，以及刻蚀等工艺后材料表面沟槽形貌表征。

台阶仪性能指标：

→ 测量台阶高度范围：0-1mm

→ 测量样品尺寸：12英寸及以下

→ 探针配置：针尖半径2um；探针可控压力范围0.03mg-15mg

→ 垂直分辨率：0.1nm（6.5um量程范围），重复性0.5nm（1um标准台阶，使用2um探针）

→ 测试最大样品重量：2kg

→ 样品视景：彩色CCD镜头，可调节放大倍率，1 to 4mm FOV，配有俯视及测试双摄像头

如需进一步咨询或使用该设备，请联系设备主管工程师（苏老师，sux@tsinghua.edu.cn， 010-62784044转220）。