微光显微镜是一套用来做故障点定位的分析设备，根据故障点的不同状态通过使用InGaAs探测器探测电路发出的微弱的光子或者以激光束扫描诱导金属电阻变化的方式，从集成电路或微电子器件内部数量众多的元器件或电路中迅速准确地定位到失效点，可侦测的缺陷包含节漏电、热电子效应、栅极氧化层漏电、闩锁效应、金属互联线短路、通孔底部高阻等，极大地缩小了失效电路的分析范围，从而为下一步缺陷的物理特性分析给出具体的失效位置，有利于半导体器件的工艺改进和缩短产品的研发周期。

微光显微镜（型号SOM1100）性能指标简介

1、InGaAs探测器侦测波长范围：900nm-1700nm，曝光时间：50ms-300s；

2、激光发射装置LS-310激光器：激光波长1340nm，功率500mW；点扫描、线扫描、面扫描三种扫描模式；电流、电压模式，偏置放大技术。

3、PS-200 8英寸手动探针台。

该设备位于荷清大厦高精尖中心测试实验室，欢迎通过清华大学仪器共享服务平台预约使用。

工程师联系方式：邓美静，62799552-1168，dengmeijing@mail.tsinghua.edu.cn。