微纳加工中心拟定于2022年10月25日（周二）上午8:00-10:00组织nb5型电子束光刻机的光1曝光使用方法培训。

具体安排：套刻标记的分析，套刻参数的测量，套刻job的编写

面向对象：已经取得电子束光刻机（16041494）独立上机操作资格的用户

培训地点：清华大学微纳加工中心办公室（105）和小光刻间（108-1）

考核时间：2022年10月25日，10:00-11:00

考核方式：独立编写光1的job程序代码和batch程序代码

考核内容：测量样品版图定位参数，测量样品对焦数值，编写和测试光1job和batch程序代码

有意向培训的用户请在用户群中回复，或发邮件至 hanying@mail.tsinghua.edu.cn。本次报名截止时间为10月24日，报名时请发送邮件内容：参加10月25日nb5型电子束光刻机的光1曝光使用方法培训+姓名。

培训时请携带清华大学微纳加工中心网站“表格下载”中的《微纳加工中心设备培训与考核记录单》。设备名称：电子束光刻机，设备编号：16041494，设备培训人：韩英。用户可在网站中搜索设备名称了解详情。记录单上需要导师签字或直属领导签字。

本次培训费用按照设备讲解时间+用户实际使用机时收费。

疫情防控期间，校外用户需要提前一天申请入校。

微纳加工中心

2022年10月22日